原理
柔性微電極探針是由Salazar[1]等人發展起來的，用來實現粗糙、傾斜、較大的基體在接觸模式下的SECM。先在聚乙烯對苯二酸酯薄膜中燒蝕一個微通道，然后用導電的碳墨填充。用聚合物膜固化碳軌道和疊片之后，切出V型針，從而形成探針。通過UV光切割或者刀片切割，露出碳軌道尖端的橫截面，拋光產生一個新月形的碳微電極[1]。
這些柔性探針壓在基體上時可以彎曲，這樣聚乙烯對苯二酸酯層一直通過彎曲接觸。這個聚乙烯對苯二酸酯層的厚度定義了基體和活性電極區域的固定工作距離。當掃描粗糙表面時，探針的彎曲可以適應形貌特征，因此可以不需要額外的電反饋系統（像AFM系統中）保持一個幾乎固定的工作距離，甚至可以提供那些太粗糙以至于無法AFM成像的表面的圖像[1]。
柔性探針與ic對比
優點：
1. 只需要一個探針，而沒有反饋調節系統，這也就意味著基礎裝備便宜。
2. 可以用來研究柔性材料，如活細胞、有機材料。
3. 探針用作陣列的情況下，可以更快，但只能在一定程度上。
缺點：
1.如圖1所示，活性區域的尺寸比10μm探針更大，分辨率更低。在ic中，分辨率是探針的實際尺寸。
2.由于不用反饋調節，只能保持一個幾乎固定的工作距離。在ic中可以保持一個準確的恒定工作距離。
3.柔性探針不能測量形貌，因此不能像ic一樣來比較去除形貌數據的特性。
4. 電極不是盤狀的，所以解析近似值不能用來描述逼近曲線中電流和距離之間的關系。
5.由于hp值更負（圖3），電極更彎，橫向配準轉變更大，需要校正。這就意味著可以解除的實際形貌數量是有限的，而在ic中，沒有限制。
6.掃描不同樣品形貌，探針有不同的彎曲，這會改變探針與樣品的距離而降低橫向分辨率（在x軸和y軸）。
7.探針的彎曲對氧化還原介質的擴散產生屏蔽作用，對SECM技術有抑制作用。SECM技術要求擴散只受樣品和探針的理想對稱玻璃外殼的影響。
8. 邊緣效應極其明顯。
9.響應依賴于掃描方向，與AFM的接觸模式類似。
10.當掃描一個帶凹槽的均勻表面時，電化學響應依賴于樣品形貌。在ic中，電化學響應不受或很少受形貌影響。
參考文獻
[1] Cortes-Salazar, F.; Traeuble, M.; Li, F.; Busnel, J.-M.; Gassner, A.; Hojeij, M.; Wittstock, G.; Girault, H. H. Anal. Chem. 2009, 81, 6889.
