原理
柔性微電極探針是由Salazar[1]等人發(fā)展起來的，用來實現(xiàn)粗糙、傾斜、較大的基體在接觸模式下的SECM。先在聚乙烯對苯二酸酯薄膜中燒蝕一個微通道，然后用導電的碳墨填充。用聚合物膜固化碳軌道和疊片之后，切出V型針，從而形成探針。通過UV光切割或者刀片切割，露出碳軌道尖端的橫截面，拋光產(chǎn)生一個新月形的碳微電極[1]。
這些柔性探針壓在基體上時可以彎曲，這樣聚乙烯對苯二酸酯層一直通過彎曲接觸。這個聚乙烯對苯二酸酯層的厚度定義了基體和活性電極區(qū)域的固定工作距離。當掃描粗糙表面時，探針的彎曲可以適應形貌特征，因此可以不需要額外的電反饋系統(tǒng)（像AFM系統(tǒng)中）保持一個幾乎固定的工作距離，甚至可以提供那些太粗糙以至于無法AFM成像的表面的圖像[1]。
柔性探針與ic對比
優(yōu)點：
1. 只需要一個探針，而沒有反饋調(diào)節(jié)系統(tǒng)，這也就意味著基礎(chǔ)裝備便宜。
2. 可以用來研究柔性材料，如活細胞、有機材料。
3. 探針用作陣列的情況下，可以更快，但只能在一定程度上。
缺點：
1.如圖1所示，活性區(qū)域的尺寸比10μm探針更大，分辨率更低。在ic中，分辨率是探針的實際尺寸。
2.由于不用反饋調(diào)節(jié)，只能保持一個幾乎固定的工作距離。在ic中可以保持一個準確的恒定工作距離。
3.柔性探針不能測量形貌，因此不能像ic一樣來比較去除形貌數(shù)據(jù)的特性。
4. 電極不是盤狀的，所以解析近似值不能用來描述逼近曲線中電流和距離之間的關(guān)系。
5.由于hp值更負（圖3），電極更彎，橫向配準轉(zhuǎn)變更大，需要校正。這就意味著可以解除的實際形貌數(shù)量是有限的，而在ic中，沒有限制。
6.掃描不同樣品形貌，探針有不同的彎曲，這會改變探針與樣品的距離而降低橫向分辨率（在x軸和y軸）。
7.探針的彎曲對氧化還原介質(zhì)的擴散產(chǎn)生屏蔽作用，對SECM技術(shù)有抑制作用。SECM技術(shù)要求擴散只受樣品和探針的理想對稱玻璃外殼的影響。
8. 邊緣效應極其明顯。
9.響應依賴于掃描方向，與AFM的接觸模式類似。
10.當掃描一個帶凹槽的均勻表面時，電化學響應依賴于樣品形貌。在ic中，電化學響應不受或很少受形貌影響。
參考文獻
[1] Cortes-Salazar, F.; Traeuble, M.; Li, F.; Busnel, J.-M.; Gassner, A.; Hojeij, M.; Wittstock, G.; Girault, H. H. Anal. Chem. 2009, 81, 6889.
